Cтудентка запатентовала ионный нож для вырезания транзисторов, Hi-Tech

Компьюлента. 4 марта 2003 года, 15:58

Создание логики чипа с помощью традиционной фотолитографии - долгий процесс, состоящий из 20-100 этапов. Студентка из штата Орегон предложила "вырезать" транзисторы на подложке сфокусированным пучком ионов, что сокращает техпроцесс до шести-семи этапов.

Продемонстрированный на конференции Американской ассоциации развития науки (AAAS) транзистор, сделанный по новой методике, действительно работал. Установка для его создания использовалась Райной Карник для предшествовавших опытов. Закончив очередную работу, девушка задумалась над тем, как ещё применить ускоритель частиц, построенный ей на основе генератора Ван дер Граафа. Райна решила воспроизвести один из опытов своего кумира, нобелевского лауреата Леона Ледермана.

Транзисторы, вырезанные пучком ионов галлия, имели все необходимые компоненты - исток, сток и затвор. Проверка показала их работоспособность. Тогда Райне Карник пришло в голову, что "ионный нож" - прекрасный инструмент для проектировщиков микросхем. Теперь им не нужно для проверки своих решений запускать сложный процесс фотолитографического производства. Вместо этого, конструктор может самостоятельно добавить в схему те или иные элементы.

Технология хорошо поддаётся автоматизации: управлять установкой можно с компьютера, а шаблоны, хранящиеся в его памяти, легко поддаются изменению. Напомним, что для изготовления набора масок для фотолитографии требуется не меньше недели.

Скептики возражают, что идея создания отдельных транзисторов не нова, а применение ионов галлия обсуждается уже около 15 лет. Тем не менее, патентоведы придерживаются другого мнения: Райна Кармик уже получила юридическую защиту своей разработки. А вдохновивший её Леон Ледерман, нынешний президент AAAS, лично благословил Райну на дальнейшие изыскания.